红外气体传感器

简要描述：红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。

产品型号：Gasboard-2060
厂商性质：生产厂家
更新日期：2025-01-15
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气体传感器

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详细介绍

红外气体传感器

产品名称：红外气体传感器

产品型号：Gasboard-2060

红外气体传感器产品概述

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。

红外气体传感器产品特性

（1）使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

（2）响应时间快，高灵敏度

（3）无耗材

（4）模拟/数字通信

（5）模块化设计，便于集成

红外气体传感器技术参数

检测原理	NDIR
检测气体	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重复性	±0.5%
线性	±1%F.S.
检测限	1ppm

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